F1731-晶圆AOI
?型号 F1731 设备名称 晶圆AOI 类型 晶圆赃物检测 外形尺寸 800*950*1400mm（WxDxH） 晶圆台面高度 850mm 适应产品规格 8寸（小尺寸需改承载台部分） 定位精度 ±0.03mm（X,Y） 定位精度 ±0.05mm（Z） 重复精度 ±0.02mm（X,Y） 视
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型号 | F1731 |
设备名称 | 晶圆AOI |
类型 | 晶圆赃物检测 |
外形尺寸 | 800*950*1400mm（WxDxH） |
晶圆台面高度 | 850mm |
适应产品规格 | 8寸（小尺寸需改承载台部分） |
定位精度 | ±0.03mm（X,Y） |
定位精度 | ±0.05mm（Z） |
重复精度 | ±0.02mm（X,Y） |
视觉系统 | 500万像素黑白CCD，远心镜头，点光源 |
最小缺陷尺寸 | 3um |
工控系统 | 自主研发动作软件 |
工厂要求 | 电压：220V，50Hz 真空：80-99Kpa |
设备功率 | 900W |
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